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气动隔膜泵在硅片预冲洗设备的应用

发布时间:2017-05-03   点击次数:195次
硅片预冲洗设备包括喷淋槽、抛动电机、气动隔膜泵、废砂浆收集箱,所述喷淋槽还包括喷淋管、过滤网,所述喷淋槽分别与抛动电机和气动隔膜泵连接,所述气动隔膜泵与废砂浆收集箱相连。
所述的喷淋管有四排,且喷淋管上设有气嘴,用于清洗硅片。
所述的过滤网设于喷淋槽的底部。
所述的喷淋槽后面设有挡板,所述挡板上设有滑道及与滑道相匹配的滑块。
所述抛动电机上设有机械臂,所述机械臂通过滑块上下运动。
所述的喷淋槽和气动隔膜泵之间的管道上设有气动排液阀。
有益效果
所述的新型硅片预冲洗设备,具有以下优点:采用向喷淋管通气,通过喷淋管内气体产生的强气流,推动喷淋槽内水的流动,达到对硅片的清洗目的,降低耗水量,节约水资源;同时通过气动隔膜泵将喷淋槽内产生的废砂浆水抽到废砂浆收集箱内,减少水内赃物量,防止喷淋管上的气嘴被赌,减少故障处理,节约人力成本,提高了产品的质量,与此同时废砂收集箱内的废砂可以复利用,降低了处理成本。 
附图说明
图1为结构示意图。
具体实施方式
实施例
如图1所示的一种新型硅片预冲洗设备,它包括喷淋槽1、抛动电机2、气动隔膜泵3、废砂浆收集箱4,其中,所述喷淋槽1还包括喷淋管5、过滤网6,喷淋管5有四排,且喷淋管5上设有气嘴7,过滤网6设于喷淋槽1的底部;所述的喷淋槽1后面设有挡板8,所述挡板8上设有滑道9及与滑道9相匹配的滑块10;所述抛动电机2上设有机械臂11,机械臂11通过滑块10上下运动;所述喷淋槽1分别与抛动电机2和气动隔膜泵3连接,所述气动隔膜泵3与废砂浆收集箱4相连;所述的喷淋槽1和气动隔膜泵3之间的管道上设有气动排液阀12。
在使用时,打开喷淋槽1的开关,向喷淋槽1内注满水后,启动喷淋管5开关,通过压缩空气进口13向喷淋管5内通入气体,此时启动抛动电机2,抛动电机2带动机械臂11通过滑块10沿着滑道9带着花篮中的硅片13上下运行,喷淋管5内的气体产生强气流,通过喷淋管5上的气嘴7推动喷淋槽1内水的流动,对硅片进行清洗,清洗完成后,启动气动隔膜泵3,打开气动排液阀12,把喷淋槽1内的水排掉,通过气动隔膜泵3把喷淋槽1内产生的废砂浆水抽到废砂浆收集箱4中,等待下次重复利用。

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